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石墨治具的使用要求

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2024-03-18 16:54:21

石墨治具的使用要求
    石墨治具是用于在半導體制造過程中承載、固定和維護芯片的石墨制件。在使用過程中,需要滿意以下要求:
    1.石墨治具應具有杰出的導熱性能,以確保芯片在作業(yè)過程中散熱杰出。
    2.石墨治具的外表應光滑、平整,無劃痕或凸起,避免對芯片形成損傷。
    3.石墨治具的規(guī)劃應契合所承載的芯片尺寸和形狀,以確保其穩(wěn)定性和承載才能。
    4.使用前應對石墨治具進行預熱處理,以削減熱沖擊對其的影響。
    5.使用后應對石墨治具進行清潔和維護,以堅持杰出的作業(yè)狀況和延長其使用壽命。

石墨治具